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并且还可二维应力Mapping成像统计阐发;同时可切
上传时间:2019-11-12点击数:

  系统采用非接触MOS激光手艺;不单能够对薄膜的应力、概况曲率和翘曲进行切确的丈量,并且还可二维应力Mapping成像统计阐发;同时可切确丈量应力、曲率随温度变化的关系;

  及时原位薄膜应力仪:同样采用先辈的MOS手艺,肯博官网!可拆正在各类实空堆积设备上(如:MBE, MOCVD, sputtering, PLD, PECVD, and annealing chambers ects),对于薄膜发展过程中的应力变化进行及时原位丈量和二维成像阐发;

  16.二维5*5激光阵列丈量手艺:不单能够对样品概况进行二维曲率成像阐发;并且这种设想一直所有阵列的激光光点一直正在统一频次活动或扫描,从而无效的避免了振动对测试成果的影响;同时大大提高了测试的分辩率;